Überwachung der Eigenschaften des Schlickers

Eine Aufschlämmung ist ein Gemisch aus Feststoffen, das beim chemisch-mechanischen Polieren zum Glätten von Oberflächen verwendet wird. Slurrys werden vor allem bei der Waferproduktion eingesetzt, die chemisches Ätzen und abrasives Polieren erfordert. Das Inline-Refraktometer von Schmidt + Haensch eignet sich zur Überwachung der Eigenschaften der Slurry während ihrer Herstellung.